CJ系列磁控濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:83630
CJ系列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表面原子從母體中逸出的現(xiàn)象。早在1842年Grove在實驗室中就發(fā)現(xiàn)了這種現(xiàn)象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數(shù)電場則分別用于平面靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+并產(chǎn)生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。
廣泛應(yīng)用于家電電器、鐘表、高爾夫球頭、工藝美術(shù)品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表面裝飾性鍍膜及工模具的功能涂層,在鍍制超黑膜、純金裝飾膜、導(dǎo)電膜等領(lǐng)域有優(yōu)勢。
1)、膜厚可控性和重復(fù)性好。能夠可靠的鍍制預(yù)定厚度的薄膜,并且濺射鍍膜可以在較大的表面上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子產(chǎn)生不同程度的注入現(xiàn)象,在基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、制備特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同時濺射制備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高,濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節(jié)能省電,提高產(chǎn)能。
CJ系列磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜系統(tǒng) | 直流或中頻電源、鍍膜輔助離子專用電源 |
充氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質(zhì)量流量計 |
控制方式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設(shè)備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設(shè)計訂做 |