質量流量計，即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表，

其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質量流量控制器，即Mass flow controller(縮寫為MFC），不但具有質量流量計的功能，

更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，

即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。

簡單地說，質量流量控制器就是一個穩(wěn)定裝置，是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。